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전자기력을 이용한 두 축 구동형 저 전압 실리콘 미소 거울의 설계 및 제작

조일주; 윤광석; 이형규; 윤준보; 윤의식, 제 4회 한국MEMS학술대회, pp.77 - 82, 2002-04-07

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