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알루미늄 박판의 다단 전해식각 공정을 이용한 3 차원 마이크로 구조물의 제작

김윤지; 윤세찬; 한원; 조영호; 박호준; 장병규; 오용수, 대한기계학회논문집 A, v.34, no.12, pp.1805 - 1810, 2010-12

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