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나노 복화(複畵)공정의 역방향 적층법을 이용한 직접적 나노패턴 생성에 관한 연구 박상후; 임태우; 양동열; 공홍진, 한국정밀공학회지, v.21, no.6, pp.153 - 159, 2004-06 |
펨토초 레이저를 이용한 극미세 광조형 기반공정 개발 박상후; 임태우; 정창균; 양동열; 이신욱; 이성구; 공홍진, 한국정밀공학회지, v.21, no.3, pp.180 - 187, 2004-03 |
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