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GaAs기판 식각을 이용한 수직투과형 IR 광변조기 설계 및 제작 박창영; 유장우; 윤희선; 조용철; 박용화; 이상훈, 한국 MEMS 학술대회, 한국 MEMS, 2013-04-05 |
Parylene을 이용한 Membrane 형태의 수직투과형 IR 광변조기 제작 및 특성 평가 박창영; 유장우; 윤희선; 조용철; 박용화; 나병훈; 이상훈, 한국 MEMS 학술대회, 한국 MEMS, 2014-04-05 |
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