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나노 정밀도 스캐닝 용 공기베어링과 보이스 코일 모터의 초정밀 이중 스테이지 설계 및 제어 김기현; 최영만; 김정재; 이문구; 이석원; 권대갑, 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 , pp.1883 - 1885, 한국정밀공학회, 2005 |
빠른 정착시간과 정밀 위치제어를 위한 대행정 초정밀 시스템의 모드 변경 제어 기법 김정재; 최영만; 권대갑, 2005 한국자동제어학술회의, pp.237 - 242, 2005-10-20 |
초정밀 decoupled 이중 스테이지의 설계 및 제어 최영만; 김기현; 김정재; 권대갑; 이문구; 이석원; 박정우; et al, 대한기계학회 2005년도 창립60주년 기념 추계 학술대회 , 대한기계학회, 2005 |
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