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스캐닝 방식 XY 스테이지의 운동오차 분석 황주호; 박천홍; 이찬홍; 김동익; 김승우, 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 , pp.1380 - 1383, 한국정밀공학회, 2004 |
정밀 공작기계 안내면의 평행도 측정 황주호; 박천홍; 김승우; Wei Gao, 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회, v.5, pp.792 - 795, 한국정밀공학회, 2005 |
평면 XY 공기정압 스테이지의 운동특성 분석 황주호; 박천홍; 이찬홍; 김승우, 한국정밀공학회 2003년 춘계학술대회 , pp.359 - 362, 한국정밀공학회, 2003 |
평면 XY 스테이지용 공기베어링 안내면 오차 평가 황주호; 박천홍; 김승우, 한국정밀공학회 2006년 춘계학술대회, pp.141 - 142, 한국정밀공학회, 2006 |
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