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전자 싸이클로트론 방정식 플라즈마 식각장치 내부의 F활성 원자 수송에 대한 2차원 모델링 김용진; 윤남식; 김정형; 이평우; 송선규; 장충석; 장홍영, 응용물리, v.8, no.1, pp.60 - 67, 1995-11 |
전자싸이클로트론 공명에 의한 Ar 방전 플라즈마에서의 전자밀도 및 이온에너지의 특성 김용진; 김정형; 이평우; 송선규; 장홍영; 장충석, 새물리, v.34, no.3, pp.277 - 285, 1994-06 |
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