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차세대 식각 공정을 위한 플라즈마 변수 제어에 관한 연구 장홍영, 제10회 한국반도체학술대회, 2003 |
축전 차폐막이 없는 유도결합 아르곤 플라즈마에서 전자에너지 분포 및 플라즈마 전위에 대한 연구 서상훈; 홍정인; 장홍영, 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 , 한국진공학회, 1999 |
헬리콘 플라즈마에서 이온 에너지 분포 및 플라즈마 전위에 관한 연구 김정형; 서상훈; 장홍영, 한국진공학회 학술발표회, 한국진공학회, 1995 |
헬리콘 플라즈마의 전기적 특성 윤석민; 서상훈; 김정형; 장홍영, 한국진공학회 제10회 학술발표회, 한국진공학회, 1996-03 |
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