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| Wafer Surface Scanner를 이용한 반도체 웨이퍼상의 입자 침착속도의 측정 배귀남; 박승오; 이춘식; 명현국; 신흥태, 설비공학논문집, v.5, no.2, pp.130 - 140, 1993-05 |
| 열영동력이 수평 웨이퍼상의 입자침착에 미치는 영향 배귀남; 박승오; 이춘식; 안이기, 대한기계학회논문집 A, v.18, no.1, pp.175 - 183, 1994-01 |
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Type
- 3,455 Article
- 1 Book chapter
Open Access
- 87 OA Article
Date issued
- 478 2020 - 2024
- 1,249 2010 - 2019
- 1,060 2000 - 2009
- 530 1990 - 1999
- 135 1980 - 1989