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Wafer Surface Scanner를 이용한 반도체 웨이퍼상의 입자 침착속도의 측정

배귀남; 박승오researcher; 이춘식; 명현국; 신흥태, 설비공학논문집, v.5, no.2, pp.130 - 140, 1993-05

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열영동력이 수평 웨이퍼상의 입자침착에 미치는 영향

배귀남; 박승오researcher; 이춘식; 안이기, 대한기계학회논문집 A, v.18, no.1, pp.175 - 183, 1994-01

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