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| C-V 측정에 의한 Cu 확산방지막 특성 평가 이승윤; 라사균; 이원준; 김동원; 박종욱, 한국진공학회지, v.5, no.4, pp.333 - 340, 1996-12 |
| 열처리에 따른 CVD Cu 박막의 미세구조 및 전기 비저항의 변화 이원준; 민재식; 라사균; 이영종; 김우식; 강동원; 박종욱, 한국진공학회지, v.4, no.2, pp.164 - 171, 1995-01 |
| 차세대 반도체 소자의 배선을 위한 구리박막의 reflow 김동원; 김갑중; 권인호; 이승윤; 라사균; 박종욱, 한국진공학회지, v.6, no.3, pp.206 - 212, 1997-01 |
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Open Access
- 265 OA Article
Date issued
- 1,015 2020 - 2024
- 2,625 2010 - 2019
- 2,168 2000 - 2009
- 1,240 1990 - 1999
- 179 1980 - 1989