Browse "MS-Journal Papers(저널논문)" by Author 김용철

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Cu 박막과 SiO2 절연막사이의 TaNx 박막의 접착 및 확산방지 특성

김용철; 이도선; 이원종, 마이크로전자 및 패키징학회지, v.16, no.3, pp.19 - 24, 2009-09

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