Browse "MS-Journal Papers(저널논문)" by Author 김성태

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ECR-PECVD법을 사용한 ULSI DRAM 용 PZT 박막 제조

김재환; 신중식; 김성태; 노광수; 위당문; 이원종, 한국진공학회지, v.4, no.1, pp.145 - 150, 1995-04

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