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반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘 기판에서의 CoSi2 layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구 김선일; 이희승; 박종호; 안병태, 한국재료학회지, v.13, no.1, pp.1 - 5, 2003-01 |
반응성 스퍼터링법으로 증착된 CoNx 중간층을 이용한 (100)Si 기판 위에서의 에피택셜 CoSi2 성장 연구 이승렬; 안병태; 김선일, 한국재료학회지, v.16, no.1, pp.30 - 36, 2006-01 |
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