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Browse "MS-Journal Papers(저널논문)" by Author 황찬용

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고밀도 플라즈마 CVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 특성

최치규; 강민성; 오경숙; 이유성; 오대현; 황찬용; 손종원; et al, 한국재료학회지, v.9, no.11, pp.1129 - 1136, 1999-12

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