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(100) Si 기판위에 증착된 TiSi2 박막의 응집 박중근; 나종주, 대한금속재료학회 춘계학술발표대회, pp.150 - 151, 대한금속재료학회, 1997 |
Ti 증착조건이 Ti 박막의 잔류응력 및 Ti실리사이드 형성에 미치는 영향에 관한 연구 박중근; 이택영; 나종주, 대한금속학회 춘계학술발표대회, 대한금속학회, 1995 |
타이실리사이드 박막의 응집에 미치는 응력의 영향 박중근; 나종주, 대한금속학회 춘계학술발표대회, pp.91 - 92, 대한금속학회, 1997 |
타이실리사이드의 응집화 현상 및 응력의 영향 박중근; 나종주, 대한금속학회 춘계학술발표대회, 대한금속학회, 1995 |
타이타늄실리사이드 박막에서 응집거동 박중근; 나종주; 이택영, 대한금속학회 춘계학술발표대회, 대한금속학회, 1996 |
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