Browse "MS-Conference Papers(학술회의논문)" by Author 고영범

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0.25 ㎛ 리소그라피 공정에서 무반사층의 응용

노광수; 배병수; 전병혁; 한상수; Jiang, ZT; 김용범; 김동완; et al, 광학 및 양자전자 학술 발표회, 1996-01-01

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An Overview and Future Development of Single-Layer Halftone Phase-shifting Mask (SLHTPSM) Materials for DUV Microlithography

배병수; Jiang, ZT; 홍승범; Kim, EH; Lim, SC; Woo, SG; 고영범; et al, 한국요업학회 추계학술발표대회 , 한국요업학회, 1996

3
Antireflective coating of flourinated silicon nitride for KrF excimer laser lithography

노광수; 배병수; 전병혁; 한상수; 이준성; 김용범; 강호영; et al, 제 4회 한국 반도체 학술대회, 한국 반도체 학술대회, 1997

4
CrF 광학박막의 제조 및 특성 평가

노광수; 김은아; 배병수; 고영범; 우상균; 임성출; Jiang, Zhong-Tao; et al, 한국요업학회 춘계학술발표대회, 한국요업학회, 1996-01-01

5
CrFx 변조 위상변위마스크의 모사연구

노광수; 김은아; 고영범; 우상균; 임성출; 배병수; 장종도; et al, 광학 및 양자전자 학술 발표회, 1996-01-01

6
DUV 리소그라피공정에서 TiOx 박막의 무반사층으로의 응용성

노광수; 전병혁; 고영범; 강호영; 김동완; 배병수; 이준성; et al, 한국재료학회 춘계학술발표대회, 한국재료학회, 1996-01-01

7
박막의 결정성과 양자역학적인 상수간의 관계에 대한 연구

노광수; 홍승범; 배병수; 고영범; Jiang, ZT; 우상균; 임성출; et al, 한국재료학회 춘계학술발표대회, 한국재료학회, 1996-01-01

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