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UV submicron lithography 를 위한 4반사광학계의 설계 및 수차해석 = Design and analysis of the four mirror optical system for UV submicron lithographylink 박성찬; Park, Sung-Chan; et al, 한국과학기술원, 1991 |
윤대판 간섭계에서 Zernike polynomials 을 이용한 수차파면의 결정 = Representation of aberrated wave front by zernike polynomials in zone plate interferometerlink 박성찬; Park, Sung-Chan; et al, 한국과학기술원, 1988 |
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