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박막형 실리콘 태양전지 증착을 위한 대면적 고속 증착장비 연구 = Study on the VHF multi-electrode CCP for the microcrystalline silicon thin film solar cellslink 이윤성; Lee, Yun-Seong; et al, 한국과학기술원, 2013 |
전자 싸이클로트론 공명 산소 플라즈마에서 플라즈마 모드에 관한 연구 = Study on the plasma mode in oxegen electron cyclotron resonance plasmalink 이상원; Lee, Sang-Won; 장홍영; 장충석; et al, 한국과학기술원, 1997 |
질화막을 입히기 위한 펄스가 인가된 질소 플라즈마 파라미터 거동 = Plasma parameter characteristics in Pulsed N2 Inductively Coupled Plasma for plasma oxynitridationlink 윤주미; Yun, Ju-Mi; et al, 한국과학기술원, 2009 |
플라즈마 쉬스 영역에서 충돌 효과를 고려한 입자 모의실험 = Particle simulation on collisional effects in the plasma sheath regionlink 강성원; Kang, Sung-Won; et al, 한국과학기술원, 1999 |
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