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Studies on the effect of driving frequency in capacitively coupled plasma = 축전 결합 플라즈마에서 구동 주파수의 효과에 관한 연구link Ahn, Seung-Kyu; 안승규; et al, 한국과학기술원, 2008 |
기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 장홍영; 박민; 채수항; 안승규, 2010-07-05 |
이중 주파수 축전 결합 플라즈마에 관한 연구 = A study on dual frequency capacitively coupled plasma(DFCCP)link 안승규; Ahn, Seung-Kyu; et al, 한국과학기술원, 2004 |
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