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박막의 기울기 변형을 이용한 열공압 구동 방식의 장행정 소형 액추에이터 강태구; 서경선; 조영호; 백오현; 황웅린; 문재호, 대한기계학회논문집 A, v.22, no.5, pp.756 - 766, 1998-05 |
박막의 기울기 변형을 이용한 열공압 구동방식의 장행정 소형 액추에이터 강태구; 서경선; 조영호; 백오현; 황웅린; 문재호, 대한전기학회 MEMS연구회 학술발표회, pp.157 - 166, 1997-04-26 |
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