Showing results 1 to 2 of 2
실리콘 광도파로, 미소거울 및 접촉식 정전구동기가 집적된 광스위치 진령현; 서경선; 조영호; 이상신; 송기창; 부종욱, 대한전기학회 논문지, v.50, no.12, pp.639 - 648, 2001-12 |
절연된 이동접촉 보와 곡면전극 구동기를 이용한 집적화된 SOI 광스위치 진영현; 서경선; 조영호; 이상신; 송기창; 부종욱, 제2회 MEMS 학술대회, pp.237 - 245, 2000-04-14 |
Discover