학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2005.2, [ ix, 91 p. ]
dielectric constantea development tool; leakage current; Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition; 플라즈마 원자층 증착법; 유전상수; 누설전류; 나노라미네이션; 알루미늄옥사이드; 하프늄옥사이드
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