CoPt 자성박막의 미세조직과 자성성질에 미치는 in-situ annealing의 효과

Abstract

높은 보자력과 작은 결정립크기, 낮은 미디어 노이즈를 갖는 자성 미디어에 대한 관심이 증대되고 있다. 이러한 물질중에 유력한 것은 equi-atomic 조성을 갖는 L10 CoPt이다. 이 물질은 상온에서 증착직후, 불규칙 구조를 갖는다. 그러나 600도 이상에서는 규칙상으로 변화하여 큰 보자력값을 갖는다. 이러한 특성을 갖는 CoPt 를 이용하여, 고온에서 in-situ 열처리에 따른 자성특성의 변화와 미세조직의 변화, 그리고 Carbon 및 Cr 의 첨가효과에 대하여 알아보았다. In-situ annealing 의 경우 ordering kinetics가 빨라졌으며, 보자력은 9kOe까지 증가하였다. In-situ효과에 대한 2가지 요인을 고려해 볼수 있었다. 하나는 표면효과이며, 또 하나는 grain size distribution의 차이이다. Carbon을 5 vol% 첨가하였을 때 보자력은 약간 감소하였으나. 결정립의 크기는 크게 줄일 수 있었다. Cr을 25vol% 첨가하였을때, 높은 보자력 이방성 값을 얻을 수 있었다.