고주파 스파터 세척이 크롬과 크롬과 폴리이미드의 접착성에 미치는 효과The effect of RF sputter cleaning on the adhesion of Cr to polyimide
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 유진 | - |
| dc.contributor.advisor | Yu, Jin | - |
| dc.contributor.author | 김성태 | - |
| dc.contributor.author | Kim, Sung-Tae | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-15T01:40:01Z | - |
| dc.date.available | 2011-12-15T01:40:01Z | - |
| dc.date.issued | 1991 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=68030&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/51214 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 재료공학과, 1991.2, [ [iv], 68 p. ] | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.title | 고주파 스파터 세척이 크롬과 크롬과 폴리이미드의 접착성에 미치는 효과 | - |
| dc.title.alternative | The effect of RF sputter cleaning on the adhesion of Cr to polyimide | - |
| dc.type | Thesis(Master) | - |
| dc.identifier.CNRN | 68030/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 재료공학과, | - |
| dc.identifier.uid | 000891071 | - |
| dc.contributor.localauthor | 유진 | - |
| dc.contributor.localauthor | Yu, Jin | - |
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- MS-Theses_Master(석사논문)
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