학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 재료공학과, 2001.2, [ ix, 89 p. ]
plasma power; Hydrogen plasma; Atomic layer deposited; TaN; plasma pulse time; 플라즈마 처리 시간; 플라즈마 파워; 수소 플라즈마; 원자층 단위 증착; 탄탈륨 나이트라이드
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