Ti 증착 조건이 Ti 박막의 잔류 응력 및 Ti 실리사이드 형성에 미치는 영향에 관한 연구Study on the effects of Ti deposition conditions on the residual stress of Ti thin film and on Ti silicide formation
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 박중근 | - |
| dc.contributor.advisor | Park, Joong-Keun | - |
| dc.contributor.author | 이택영 | - |
| dc.contributor.author | Lee, Taek-Yeong | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-15T01:29:15Z | - |
| dc.date.available | 2011-12-15T01:29:15Z | - |
| dc.date.issued | 1995 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=99480&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/50555 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 재료공학과, 1995.2, [ 56 p. ] | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.subject | 투과 전자 현미경 | - |
| dc.title | Ti 증착 조건이 Ti 박막의 잔류 응력 및 Ti 실리사이드 형성에 미치는 영향에 관한 연구 | - |
| dc.title.alternative | Study on the effects of Ti deposition conditions on the residual stress of Ti thin film and on Ti silicide formation | - |
| dc.type | Thesis(Master) | - |
| dc.identifier.CNRN | 99480/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 재료공학과, | - |
| dc.identifier.uid | 000933408 | - |
| dc.contributor.localauthor | 박중근 | - |
| dc.contributor.localauthor | Park, Joong-Keun | - |
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