RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 $SrTiO_3$ 박막의 제조 및 특성 평가에 관한 연구Preparation and characterizations of $SrTiO_3$ thin films by RF maganetron sputtering
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김호기 | - |
| dc.contributor.advisor | Kim, Ho-Gi | - |
| dc.contributor.author | 남승희 | - |
| dc.contributor.author | Nam, Seung-Hee | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-15T01:05:04Z | - |
| dc.date.available | 2011-12-15T01:05:04Z | - |
| dc.date.issued | 1993 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=60670&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/50304 | - |
| dc.description | 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 무기재료공학과, 1993.2, [ iv, 129 p. ] | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.title | RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 $SrTiO_3$ 박막의 제조 및 특성 평가에 관한 연구 | - |
| dc.title.alternative | Preparation and characterizations of $SrTiO_3$ thin films by RF maganetron sputtering | - |
| dc.type | Thesis(Ph.D) | - |
| dc.identifier.CNRN | 60670/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 무기재료공학과, | - |
| dc.identifier.uid | 000885129 | - |
| dc.contributor.localauthor | 남승희 | - |
| dc.contributor.localauthor | Nam, Seung-Hee | - |
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- MS-Theses_Ph.D.(박사논문)
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