분자선 증착법으로 $SiO_2$ 위에 증착한 $Si_{1-x}Ge_x$ 박막의 결정 성장에 관한 투과 전자 현미경 연구A transmission electron microscopy study of the crystal growth of $Si_{1-x}Ge_x$ films Deposited on $SiO_2$ by molecular beam deposition
- Advisors
- 이정용researcher; Lee, Jeong-Yongresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 재료공학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 1999
- Identifier
- 150155/325007 / 000935107
- Language
- kor
- Description
학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 재료공학과, 1999.2, [ xviii, 155 p. ]
- Keywords
투과 전자 현미경; 결정 성장; 실리콘 저머늄 합금; 분자선 증착법; MBD; TEM; Crystal growth; SiGe alloy
- Appears in Collection
- MS-Theses_Ph.D.(박사논문)
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