학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 재료공학과, 1998.8, [ vi, 155 p. ]
선택적 증착; 수소 플라즈마; 금속유기물 기상화학증착; 알루미늄 박막; 전압 인가; Bias; Selective deposition; Hydrogen plasma; Aluminum MOCVD; DMEAA
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