금속유기화학기상증착법과 반응성 스퍼터링법으로 증착된 $CoN_x$ 박막을 이용하여 (100) Si 기판에서의 에피택셜 $CoSi_2$의 성장에 관한 연구Growth of epitaxial $CoSi_2$ layer on (100) Si substrate using $CoN_x$ film deposited by metallorganic chemical vapor deposition and reactive sputtering
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 안병태 | - |
| dc.contributor.advisor | Ahn, Byung-Tae | - |
| dc.contributor.author | 김선일 | - |
| dc.contributor.author | Kim, Sun-Il | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-15 | - |
| dc.date.available | 2011-12-15 | - |
| dc.date.issued | 2006 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=254278&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/49844 | - |
| dc.description | 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2006.2, [ xii, 162 p. ] | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.subject | metallorganic chemical vapor deposition | - |
| dc.subject | reactive sputtering | - |
| dc.subject | CoNx | - |
| dc.subject | epitaxial silicide | - |
| dc.subject | 반응성 스퍼터링 | - |
| dc.subject | 금속유기화학기상증착법 | - |
| dc.subject | 코발트 나이트라이드 | - |
| dc.subject | 에피택셜 실리사이드 | - |
| dc.subject | 코발트 실리사이드 | - |
| dc.title | 금속유기화학기상증착법과 반응성 스퍼터링법으로 증착된 $CoN_x$ 박막을 이용하여 (100) Si 기판에서의 에피택셜 $CoSi_2$의 성장에 관한 연구 | - |
| dc.title.alternative | Growth of epitaxial $CoSi_2$ layer on (100) Si substrate using $CoN_x$ film deposited by metallorganic chemical vapor deposition and reactive sputtering | - |
| dc.type | Thesis(Ph.D) | - |
| dc.identifier.CNRN | 254278/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 신소재공학과, | - |
| dc.identifier.uid | 020015813 | - |
| dc.contributor.localauthor | 김선일 | - |
| dc.contributor.localauthor | Kim, Sun-Il | - |
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- MS-Theses_Ph.D.(박사논문)
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