MEMS용 미세재료의 기계적 특성에 미치는 미세조직의 영향Effect of microstructure on mechanical properties of micro-materials for MEMS applications
- Advisors
- 홍순형researcher; Hong, Soon-Hyungresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 신소재공학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 2004
- Identifier
- 237584/325007 / 000995024
- Language
- kor
- Description
학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2004.2, [ xv, 254 p. ]
- Keywords
나노인덴테이션 시험; 미세인장 시험; 구리 박막; 기계적 특성; 집합조직; TEXTURE; NANOINDENTATION TEST; MICRO-TENSILE TEST; CU THIN FILM; MECHANICAL PROPERTIES
- Appears in Collection
- MS-Theses_Ph.D.(박사논문)
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