학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 1998.8, [ xi, 101 p. ]
Acid diffusion control; Post-exposure delay stability; Chemically amplified resist; Alicyclic polymer; 화학증폭형 레지스트; 지방족 고리형 고분자; 산확산조절; 노광후 지연 안정성
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