R.F. 마그네트론 스퍼터링법으로 증착 한 전도성 페로브스카이트 $LaNiO_3$ 박막의 구조 및 전기적 특성 연구Structural and electrical properties of conductive Perovskite $LaNiO_3$ thin films prepared by R.F. magnetron sputtering
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 주웅길 | - |
| dc.contributor.advisor | Choo, Woong-Kil | - |
| dc.contributor.author | 김휘산 | - |
| dc.contributor.author | Kim, Hee-San | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-15 | - |
| dc.date.available | 2011-12-15 | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=249462&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/49630 | - |
| dc.description | 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학과, 2005.8, [ xi, 102 p ] | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.subject | 결정 구조 | - |
| dc.subject | 강유전 박막 | - |
| dc.subject | 스퍼터링 | - |
| dc.subject | 산화물 전극 | - |
| dc.subject | electrode | - |
| dc.subject | PZT | - |
| dc.subject | sputtering | - |
| dc.title | R.F. 마그네트론 스퍼터링법으로 증착 한 전도성 페로브스카이트 $LaNiO_3$ 박막의 구조 및 전기적 특성 연구 | - |
| dc.title.alternative | Structural and electrical properties of conductive Perovskite $LaNiO_3$ thin films prepared by R.F. magnetron sputtering | - |
| dc.type | Thesis(Ph.D) | - |
| dc.identifier.CNRN | 249462/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 신소재공학과, | - |
| dc.identifier.uid | 020015822 | - |
| dc.contributor.localauthor | 김휘산 | - |
| dc.contributor.localauthor | Kim, Hee-San | - |
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- MS-Theses_Ph.D.(박사논문)
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