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(A) study on high dielectric constant and low tolerance embedded capacitor materials and process = 고유전율 저 공차특성 내장형 커패시터 재료 및 공정에 대한 연구link Hyun, Jin-Gul; 현진걸; et al, 한국과학기술원, 2010 |
Ir 하부전극 위에서 PEALD로 증착 된 TiAlO 박막의 특성에 대한 연구 = A study on TiAlO films deposited by plasma enhanced atomic layer depositionlink 주대권; Joo, Dae-Kwon; et al, 한국과학기술원, 2009 |
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