저유전율 박막 제조 공정을 위한 자외선 소스의 개발Development of UV source for low dielectric material processing
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 장홍영 | - |
| dc.contributor.advisor | Chang, Hong-Young | - |
| dc.contributor.author | 정원봉 | - |
| dc.contributor.author | Jung, Won-Bong | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-14T07:56:58Z | - |
| dc.date.available | 2011-12-14T07:56:58Z | - |
| dc.date.issued | 2002 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=173541&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/48604 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 물리학과, 2002.2, [ [iii], 35 p. ] | - |
| dc.description.abstract | 저유전율 박막 제조를 위해서 2.45GHz 마이크로파를 이용한 황 방전을 일으켰다. 황방전은 수백토르의 아르곤 가스와 수밀리그램의 황가루를 넣고 밀봉한 수정구에서 이루어졌다. 스펙트럼 측정결과 대부분의 광방출이 자외선 영역에서 이루어짐을 발견했다. 이런한 결과들로부터 황방전의 특성에 대해 논의 한다. | kor |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.subject | sulfur discharge | - |
| dc.subject | microwave | - |
| dc.subject | low dielectric | - |
| dc.subject | 마이크로파 | - |
| dc.subject | 황 방전 | - |
| dc.subject | 저유전율 | - |
| dc.subject | 자외선 | - |
| dc.subject | uv | - |
| dc.title | 저유전율 박막 제조 공정을 위한 자외선 소스의 개발 | - |
| dc.title.alternative | Development of UV source for low dielectric material processing | - |
| dc.type | Thesis(Master) | - |
| dc.identifier.CNRN | 173541/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 물리학과, | - |
| dc.identifier.uid | 020003506 | - |
| dc.contributor.localauthor | 정원봉 | - |
| dc.contributor.localauthor | Jung, Won-Bong | - |
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- PH-Theses_Master(석사논문)
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