마이크로파를 이용한 대기압 플라즈마의 발생 및 Excitation temperature 진단에 관한 연구A study on generation of an atmospheric microwave induced plasma and measurement of excitation temperature
대기압에서 2.45GHz 의 마이크로파를 이용하여 플라즈마를 발생시켰다. 플라즈마를 발생관내에서 안정적으로 발생시키기 위해서는 입력파워, 발생관의 지름 및 길이, 기체유속과 같은 특수한 조건이 요구되었다. 이러한 조건에서 발생된 플라즈마의 특성을 알기 위해 광학적인 진단 방법이 사용되었다. 기초적인 플라즈마 진단의 하나로서, 플라즈마 여기 온도(exciation temperature)가 측정되었으며, 이때 사용된 플라즈마 평형모델과 실험결과를 비교하였다. 이 결과를 토대로 대기압 마이크로파 플라즈마의 특성을 논의하였다.
- Advisors
- 최원호researcher; Choe, Won-Horesearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 물리학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 2001
- Identifier
- 165586/325007 / 000993202
- Language
- kor
- Description
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 물리학과, 2001.2, [ iii, 53 p. ]
- Keywords
진단; 플라즈마; diagnostics; excitation temperature; plasma; microwave; atmospheric; Excitation temperature; 대기압; 마이크로파
- Appears in Collection
- NE-Theses_Master(석사논문)
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