원통형 팁을 가진 나노 인덴터를 이용한 폴리디메틸실록산 박막의 점탄성 물성 측정 = A measurement of viscoelastic properties of polydimethylsiloxane(PDMS) film on Si substrate using nano indenter with flat-ended cylindrical tip

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본 연구에서는 폴리머 박막의 점탄성 물성 측정을 위한 인덴테이션에 대한 정량적인 접근이 이루어 졌다. 먼저, 본 연구에서는 원통형 팁을 이용하여 모재 위에 완전하게 붙어있는 탄성 박막을 압입하는 문제의 해로부터, 압입 문제에서 가장 중요한 정보인 작용 하중과 압입 깊이 사이의 관계를 이끌어 냈다. 이렇게 얻어진 탄성 박막에 대한 압입 문제의 하중-압입 깊이 관계는 Sneddon의 해로 잘 알려진 반무한 탄성체에 대한 압입 문제의 하중-압입 깊이 관계와 무차원 변수에서만 차이가 있다. 이러한 무차원 변수는 모재의 영향 정도를 나타내는 변수로써 박막의 포아송 비와 인덴터 반경에 대한 박막의 두께 비의 함수로써 주어지게 된다. 그리고 탄성-점탄성 대응 원리를 이용하여, 탄성 박막에 대한 하중-압입 깊이 관계를 모재 위에 완전하게 붙어있는 점탄성 박막에 대한 하중-압입 깊이 관계로 변환하였다. 이러한 점탄성 박막에 대한 하중-압입 깊이 관계를 이용하면 실험적으로 측정된 하중-시간, 압입깊이-시간 선도로부터 폴리머 박막에 대한 점탄성 물성을 쉽게 구해낼 수 있게 된다. 또한, 본 연구에서는 polydimethysiloxane (PDMS) 박막에 대해 원통형 팁을 이용한 압입 실험을 수행하여, 앞에서 구한 점탄성 박막에 대한 하중-압입 깊이 관계를 이용해 실험적 데이터로부터 PDMS박막의 완화 계수와 포아송 비를 구해냈다. 그리고 PDMS박막에 대한 물성 비교를 위해, TMA를 이용한 크?? 실험을 통해 bulk형태의 PDMS에 대한 완화계수를 구하였다. 또한, 압입으로 인한 소성 정도를 알아보기 위해, 하중 제하 후에 AFM을 이용하여 압입된 박막의 표면을 조사함으로써 잔류 변형 정도를 측정하였다.
Advisors
엄윤용researcherEarmme, Youn-Youngresearcher
Description
한국과학기술원 : 기계공학전공,
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
2005
Identifier
243962/325007  / 020033587
Language
kor
Description

학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2005.2, [ [vii], 62 p. ]

Keywords

Thin films; Polymers; Viscoelasticityperative game theoryel Difference; 나노인덴테이션; 폴리머; 박막; 점탄성 게임 이론; Nanoindentation

URI
http://hdl.handle.net/10203/46106
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=243962&flag=dissertation
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ME-Theses_Master(석사논문)
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