브리지 및 원형 멤브레인의 기계적 물성 및 계면파괴인성치 측정A measurement of mechanical properties and fracture toughness of bridged and circular membrane
Si 모재위에 증착된 금 박막의 기계적 물성을 측정하기 위해서 MEMS 공정을 이용하여 브리지 및 원형 박막 형태의 멤브레인을 제작하였다. 브리지 형태 시편에 대해서는 나노인덴터를 이용하여 쐐기형 팁으로 하중을 가하는 push-off 실험을 수행하였다. 실험결과에서 얻어지는 하중/변위 선도를 정확하게 모사하기 위하여 포텐셜 에너지 최소화 정리와 Ritz 방법을 응용한 기하학적 비선형 거동 수치해석 프로그램을 완성하였다. 실험과 수치해석을 통해서 대변형을 하는 브리지 형태의 금 멤브레인의 탄성계수와 잔류응력을 구하였다. 원형 박막 형태의 멤브레인에 대해서는 탄성계수와 잔류응력을 구하기 위해서 Twyman-Green 간섭계를 이용한 블리스터 실험을 수행하였다. 또한 일정 압력 이상에서 금 멤브레인과 Si 모재사이에서 박리가 발생하는 것을 확인하고 일반적인 계면파괴역학의 관점에서 계면파괴인성치를 구하였다.
- Description
- 한국과학기술원 : 기계공학전공,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 2005
- Identifier
- 243640/325007 / 020033644
- Language
- kor
- Description
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2005, [ [viii], 68 p. ]
- Keywords
Elastic modulus; 소거 오차시간지연분석법반응에 관한 연구?발광 물질; Fracture toughness; nanoindenter; Twyman-greenmber Asymptotic Analysis; Cancellation Error flow analysis of 100W-stack; Residual stress; 탄성계수; 잔류응력; 계면파괴인성치; 나노인덴터; 레이저 간섭계 해석
- Appears in Collection
- ME-Theses_Master(석사논문)
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