높은 개구수의 대물렌즈를 적용한 박막 두께형상 및 굴절률 측정용 백색광 간섭계 = White-light interferometry with high N.A. objective lenses for measurements of thickness profile and refractive index of thin-film structure

Cited 0 time in webofscience Cited 0 time in scopus
  • Hit : 758
  • Download : 0
단일 광학계에서 셔터를 동작시킴에 따라 반사광측정계와 간섭계를 나누어 구현할 수 있는 박막의 두께형상 및 굴절률 측정용 백색광 간섭계를 제안한다. 두께 및 굴절률 측정을 위한 반사광측정법은 필터와 높은 개구수의 대물렌즈를 적용함으로써 다파장, 다중 입사각 그리고 수평 및 수직 편광방향에 대한 반사율 정보를 쉽게 획득할 수 있으며 이로부터 두께와 굴절률을 분리해낼 수 있다. 획득한 두께 및 굴절률 정보를 바탕으로 주파수 주사식 백색광 간섭계를 통해 형상정보를 구할 수 있다.
Advisors
김승우researcherKim, Seung-Wooresearcher
Description
한국과학기술원 : 기계공학전공,
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
2008
Identifier
296111/325007  / 020063563
Language
kor
Description

학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2008.2, [ vii, 53 p. ]

Keywords

thin-film measurement; thickness profile measurement; refractive index measurement; reflectometry; white-light interferometry; 박막 측정; 두께 형상 측정; 굴절률 측정; 반사광측정법; 백색광간섭법; thin-film measurement; thickness profile measurement; refractive index measurement; reflectometry; white-light interferometry; 박막 측정; 두께 형상 측정; 굴절률 측정; 반사광측정법; 백색광간섭법

URI
http://hdl.handle.net/10203/45631
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=296111&flag=dissertation
Appears in Collection
ME-Theses_Master(석사논문)
Files in This Item
There are no files associated with this item.

qr_code

  • mendeley

    citeulike


rss_1.0 rss_2.0 atom_1.0