높은 개구수의 대물렌즈를 적용한 박막 두께형상 및 굴절률 측정용 백색광 간섭계White-light interferometry with high N.A. objective lenses for measurements of thickness profile and refractive index of thin-film structure
단일 광학계에서 셔터를 동작시킴에 따라 반사광측정계와 간섭계를 나누어 구현할 수 있는 박막의 두께형상 및 굴절률 측정용 백색광 간섭계를 제안한다. 두께 및 굴절률 측정을 위한 반사광측정법은 필터와 높은 개구수의 대물렌즈를 적용함으로써 다파장, 다중 입사각 그리고 수평 및 수직 편광방향에 대한 반사율 정보를 쉽게 획득할 수 있으며 이로부터 두께와 굴절률을 분리해낼 수 있다. 획득한 두께 및 굴절률 정보를 바탕으로 주파수 주사식 백색광 간섭계를 통해 형상정보를 구할 수 있다.
- Advisors
- 김승우researcher; Kim, Seung-Wooresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 기계공학전공,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 2008
- Identifier
- 296111/325007 / 020063563
- Language
- kor
- Description
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2008.2, [ vii, 53 p. ]
- Keywords
thin-film measurement; thickness profile measurement; refractive index measurement; reflectometry; white-light interferometry; 박막 측정; 두께 형상 측정; 굴절률 측정; 반사광측정법; 백색광간섭법; thin-film measurement; thickness profile measurement; refractive index measurement; reflectometry; white-light interferometry; 박막 측정; 두께 형상 측정; 굴절률 측정; 반사광측정법; 백색광간섭법
- Appears in Collection
- ME-Theses_Master(석사논문)
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