와전류 감쇠의 특성 분석을 이용한 AFM 진동 절연 시스템의 설계에 관한 연구Vibration isolator design for AFM using eddy current damping
- Advisors
- 권대갑researcher; Gweon, Dae-Gabresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 기계공학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 1999
- Identifier
- 150457/325007 / 000973611
- Language
- kor
- Description
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학과, 1999, [ vi, 45 p. ]
- Keywords
와전류 감쇠력; 원자력을 이용한 초정밀 계측기; 진동 절연; Vibration isolation; Eddy current damping; AFM
- Appears in Collection
- ME-Theses_Master(석사논문)
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