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SOI 양자소자 제작과 단전자터널링 특성 이병탁; 박규술; 이철희; 백승원; 이상돈; 박종완; 김장한; et al, 한국물리학회지, v.34, no.6, pp.501 - 502, 1998-03 |
전자선 석판 기술에서 디지타이징과 노광후굽기 최적화를 통한 40 nm 급 패턴 제작에 관한 연구 한상연; 신형철; 이귀로, 전자공학회논문지D, v.36, no.10, pp.23 - 30, 1999-10 |
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