Browse "EE-Conference Papers(학술회의논문)" by Author 박영근
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| Green Laser Annealing을 활용한 Monolithic 3D Integration 상부 PMOS 소자 구현과 성능 향상에 대한 연구 박영근; 노세민; 정재중; 신재철; 조병진, 제29회 한국반도체학술대회, 연세대학교, 한국반도체산업협회, 한국반도체연구조합, 2022-01-26 |
| Monolithic 3D 집적 공정에서의 ILD 두께에 따른 열 분포 분석 정재중; 박영근; 백용구; 김희태; 김동빈; 조병진, 제 30회 한국반도체학술대회, SK하이닉스, 한국반도체산업협회, 한국반도체연구조합, 2023-02-14 |
| 그린 레이저 다중 조사 열처리 공정 도입을 통한 Monolithic 3D (M3D) 상부 PMOS 소자 특성 향상 박영근; 정재중; 백용구; 노세민; 김희태; 김동빈; 조병진, 제 30회 한국반도체학술대회, SK하이닉스, 한국반도체산업협회, 한국반도체연구조합, 2023-02-14 |
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Type
- 107 Article
- 8 Book
- 22,776 Conference
Date issued
- 2,090 2020 - 2024
- 8,145 2010 - 2019
- 7,999 2000 - 2009
- 3,741 1990 - 1999
- 870 1980 - 1989