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Green Laser Annealing을 활용한 Monolithic 3D Integration 상부 PMOS 소자 구현과 성능 향상에 대한 연구 박영근; 노세민; 정재중; 신재철; 조병진, 제29회 한국반도체학술대회, 연세대학교, 한국반도체산업협회, 한국반도체연구조합, 2022-01-26 |
그린 레이저 다중 조사 열처리 공정 도입을 통한 Monolithic 3D (M3D) 상부 PMOS 소자 특성 향상 박영근; 정재중; 백용구; 노세민; 김희태; 김동빈; 조병진, 제 30회 한국반도체학술대회, SK하이닉스, 한국반도체산업협회, 한국반도체연구조합, 2023-02-14 |
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