나노제조 공정용 열가소성 폴리머 필름의 점착 및 마찰 거동에 관한 연구A study on adhesion and friction behavior of thermoplastic polymer film for nanofabrication process
- Advisors
- 김경웅researcher; Kim, Kyung-Woongresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 기계공학전공,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 2008
- Identifier
- 303529/325007 / 020035024
- Language
- kor
- Description
학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2008. 8., [ xi, 121 p. ]
- Keywords
thermoplastic polymer film; adhesion; friction; nanoimprint lithography; thermal effect; 열가소성 폴리머 필름; 점착; 마찰; 나노임프린트 리소그래피; 온도의 영향; thermoplastic polymer film; adhesion; friction; nanoimprint lithography; thermal effect; 열가소성 폴리머 필름; 점착; 마찰; 나노임프린트 리소그래피; 온도의 영향
- Appears in Collection
- ME-Theses_Ph.D.(박사논문)
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