이중서보를 이용한 초정밀 X-Y 테이블 평면 3자유도 위치제어3-Axis dual-servo control of an XYTheta-stage for ultraprecision positioning
- Advisors
- 김승우researcher; Kim, Seung-Wooresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 기계공학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 1997
- Identifier
- 114376/325007 / 000925292
- Language
- kor
- Description
학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학과, 1997.2, [ ix, 137 p. ]
- Keywords
초정밀 스테이지; 글로벌 서보; 마이크로 서보; 이중서보; 실시간 보상; Real time correction; Ultraprecision stage; Global servo; Micro servo; Dual servo
- Appears in Collection
- ME-Theses_Ph.D.(박사논문)
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