학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학과, 1997.2, [ ix, 137 p. ]
초정밀 스테이지; 글로벌 서보; 마이크로 서보; 이중서보; 실시간 보상; Real time correction; Ultraprecision stage; Global servo; Micro servo; Dual servo
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