후 공정을 고려한 양 팔 클러스터 장비의 스케줄링과 제어

Abstract

최근에 등장한 클러스터 장비 중에는 주기적으로 각 공정 모듈을 세정하는 작업을 수행하는 것들이 있다. 이러한 클리닝 작업은 공정 모듈에 남아있는 잔여 화학 찌꺼기를 제거하기 때문에 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있는 중요한 작업이다. 양 팔 클러스터 장비에서 기존에 최적으로 알려진 스케줄링 전략은 스왑 방식이다. 그러나 클리닝 작업이 포함된 클러스터 장비에서는 이러한 스왑 방식이 더 이상 효율적이지 못하다. 따라서, 이를 보완할 수 있는 새로운 운용 전략이 요구된다. 본 논문에서는 주기적으로 클리닝이 일어나는 양팔 클러스터 장비의 스케줄링 문제를 다루었다. 먼저 모든 가능한 로봇운용순서를 생성하고, 이들의 사이클 타임을 계산할 수 있는 프레임워크를 제안하였다. 그러나 모든 가능한 로봇운용순서의 수는 클리닝 사이클과 프로세스 스텝 수가 증가함에 따라 급속도로 커지기 때문에, 모두 생성하여 비교 평가하는 것은 가능하지 않다. 이러한 복잡도의 문제를 해결하기 위해서, 세 가지의 휴리스틱 운용 전략을 제시하고 분석하였다. 또한 주어진 로봇운용순서에 대응하는 이벤트 그래프를 체계적으로 생성할 수 있는 프로시저를 제안하여 사이클 타임의 계산과 각 작업의 타이밍 결정을 용이하게 하였다.