학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학전공, 2007. 8, [ 40 p. ]
Post Deposition Anneal(PDA); Atomic Layer Deposition(ALD); 증착 후 열처리; 원자층 증착법; Post Deposition Anneal(PDA); Atomic Layer Deposition(ALD); 증착 후 열처리; 원자층 증착법
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.