광-CVD와 ECR-CVD를 이용한 비정질 실리콘 박막 트랜지스터의 제작 및 특성 평가Fabrication and characterization of amorphous silicon thin film transistor using photo-CVD and ECR-CVD method
- Advisors
- 임굉수researcher; Lim, Koeng-Suresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 전기 및 전자공학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 1996
- Identifier
- 105942/325007 / 000943009
- Language
- kor
- Description
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기 및 전자공학과, 1996.2, [ 52 p. ]
- Keywords
광화학기상증착법; 비정질 실리콘 박막 트랜지스터; 전자공명화학기상증착법; ECR-CVD; Photo-CVD; A-Si TFT
- Appears in Collection
- EE-Theses_Master(석사논문)
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