고속 열처리 공정기를 위한 내고장성 관리제어기의 설계Design of fault tolerant supervisor for rapid thermal processors
고속 열처리 공정기는 기존의 로(furnace)에서의 공정을 대신할 수 있는 매력적인 장치이다. 고신뢰성과 디바이스의 좋은 품질을 보장하기 위해서는 이 장비가 동작 중에 원하지 않는 동작을 최소화하는 것이 필요하다. 이 논문에서는 정상동작과 비정상적인 동작의 정보를 이용하여 고속 열처리 공정기를 이산사건 모델로 모델링하였다. 이 모델을 이용하여, 고속 열처리 공정기의 비정상적인 동작들을 fault와 failure로 분류하였다. 최종적으로, 공정 도중에 비정상적인 동작이 발생하더라도 시작상태로부터 원하는 최종상태까지 도달하게 할 수 있는 내고장성 관리제어기를 설계하였다.
- Advisors
- 임종태researcher; Lim, Jong-Taeresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 전기및전자공학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 1998
- Identifier
- 134871/325007 / 000963556
- Language
- kor
- Description
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학과, 1998.2, [ vi, 61 p. ]
- Keywords
관리제어; 내고장성; 고속 열처리 공정기; 이산사건 시스템; DEDS; Supervisory contorl; Fault tolerant; RTP
- Appears in Collection
- EE-Theses_Master(석사논문)
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